[发明专利]柱状朗缪尔探针以及适用于低密度等离子体的测量方法在审
| 申请号： | 202210652123.8 | 申请日： | 2022-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN114980465A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 李建泉;张清和;李书翰;邢赞扬 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | H05H1/00 | 分类号： | H05H1/00 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 李圣梅 |
| 地址： | 264209 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提出了柱状朗缪尔探针以及适用于低密度等离子体的测量方法，探针包括：金属传感器、绝缘垫片、传感器保护管、探针绝缘支架、传感器主导线以及保护管辅导线；所述金属传感器的下方为传感器保护管，所述金属传感器和传感器保护管之间设置有绝缘垫片；所述金属传感器的末端连接传感器主导线，所述传感器主导线依次穿过绝缘垫片和传感器保护管并与探针外部电路相连；所述传感器保护管的末端连接保护管辅导线，并与探针外部电路相连；所述传感器保护管下方的部件为中空圆柱形的探针绝缘支架，所述保护管辅导线及传感器主导线均穿过探针绝缘支架。利用该探针测量得到的等离子体电子温度和电子密度等参数是准确可靠的。 | ||
| 搜索关键词： | 柱状 朗缪尔 探针 以及 适用于 密度 等离子体 测量方法 | ||
【主权项】：
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