[发明专利]一种具有耐磨性能的二硫化钼复合薄膜及其制备方法和应用在审
申请号: | 202210652461.1 | 申请日: | 2022-06-10 |
公开(公告)号: | CN114892142A | 公开(公告)日: | 2022-08-12 |
发明(设计)人: | 张霞;王可丽;周璇;王晓波;周峰;刘维民 | 申请(专利权)人: | 烟台先进材料与绿色制造山东省实验室 |
主分类号: | C23C16/30 | 分类号: | C23C16/30;C23C16/44;C23C16/52 |
代理公司: | 郑州联科专利事务所(普通合伙) 41104 | 代理人: | 张丽 |
地址: | 264006 山东省烟台市经济*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明属于复合纳米材料技术领域,具体涉及一种具有耐磨性能的二硫化钼复合薄膜及其制备方法和应用。本发明通过对原料及制备工艺进行调整,使其具有优异的摩擦学性能,从而解决传统磁控溅射技术制备得到的二硫化钼薄膜硬度低和摩擦系数较高的问题。本发明制备方法简单、价格低廉,与传统的沉积方法相比,不要求源溶液具有良好的挥发性,只要能够溶解在容易产生气溶胶的有机溶剂中即可。本发明的制备方法采用气凝胶辅助化学气相沉积制备复合薄膜,所得复合薄膜质量好;且操作简单、成本低,不需要实验昂贵的仪器设备,易于生产。本发明的方法易于实现大规模批量生产,具有重要的应用潜力。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 耐磨 性能 二硫化钼 复合 薄膜 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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