[发明专利]一种具有耐磨性能的二硫化钼复合薄膜及其制备方法和应用在审

专利信息
申请号: 202210652461.1 申请日: 2022-06-10
公开(公告)号: CN114892142A 公开(公告)日: 2022-08-12
发明(设计)人: 张霞;王可丽;周璇;王晓波;周峰;刘维民 申请(专利权)人: 烟台先进材料与绿色制造山东省实验室
主分类号: C23C16/30 分类号: C23C16/30;C23C16/44;C23C16/52
代理公司: 郑州联科专利事务所(普通合伙) 41104 代理人: 张丽
地址: 264006 山东省烟台市经济*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明属于复合纳米材料技术领域,具体涉及一种具有耐磨性能的二硫化钼复合薄膜及其制备方法和应用。本发明通过对原料及制备工艺进行调整,使其具有优异的摩擦学性能,从而解决传统磁控溅射技术制备得到的二硫化钼薄膜硬度低和摩擦系数较高的问题。本发明制备方法简单、价格低廉,与传统的沉积方法相比,不要求源溶液具有良好的挥发性,只要能够溶解在容易产生气溶胶的有机溶剂中即可。本发明的制备方法采用气凝胶辅助化学气相沉积制备复合薄膜,所得复合薄膜质量好;且操作简单、成本低,不需要实验昂贵的仪器设备,易于生产。本发明的方法易于实现大规模批量生产,具有重要的应用潜力。
搜索关键词: 一种 具有 耐磨 性能 二硫化钼 复合 薄膜 及其 制备 方法 应用
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