[发明专利]SiC纤维表面连续沉积PyC的系统在审
| 申请号： | 202210653598.9 | 申请日： | 2022-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN115044883A | 公开（公告）日： | 2022-09-13 |
| 发明（设计）人： | 陆子龙;焦健;齐哲;杨金华;刘虎 | 申请（专利权）人： | 中国航发北京航空材料研究院 |
| 主分类号： | C23C16/02 | 分类号： | C23C16/02;C23C16/26;C23C16/54 |
| 代理公司： | 中国航空专利中心 11008 | 代理人： | 仉宇 |
| 地址： | 100095 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及SiC纤维表面连续沉积PyC的系统，在一体化设备中，连续SiC纤维束从放丝装置出发，依次通过活化室和沉积室，在活化室内对SiC纤维表面进行活化，在沉积室内对活化后SiC纤维进行PyC沉积，达到在SiC纤维上高效率连续沉积PyC涂层的目的。(1)本发明能够显著提高SiC纤维表面PyC涂层的沉积效率(同等条件下沉积效率增加3～5倍)。 | ||
| 搜索关键词： | sic 纤维 表面 连续 沉积 pyc 系统 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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