[发明专利]一种四氟化硅吸收系统及其控制方法

摘要

本发明公开了一种四氟化硅吸收系统，用于安装在四氟化硅气体洗涤系统之前，包括若干依序连通的吸收腔体，位于首端的吸收腔体上设有四氟化硅吸收液进口和排废气口，位于末端的吸收腔体上设有四氟化硅气体进口以及氟硅酸料浆出口；每个吸收腔体均设置有循环冷却单元，循环冷却单元用于使对应的吸收腔体内的溶液冷却来保持在设定温度；本发明与现有技术相比，消除传统四氟化硅气体吸收系统的气相管道和设备堵塞现象，并可有效减少四氟化硅气体吸收液使用量，提高氟硅酸浓度，提升氟硅酸的经济价值；且提高氟硅酸溶液的产率和合成速度。