[发明专利]一种多层复合ITO薄膜在审
| 申请号： | 202210659042.0 | 申请日： | 2022-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN115094378A | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 朱归胜;焦培文;徐华蕊;赵昀云;蒋坤朋;汪坤喆 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/18;C23C14/35;C23C14/02 |
| 代理公司： | 南宁启创知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 45122 | 代理人： | 谢美萱 |
| 地址： | 541004 广西*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种多层复合ITO薄膜，所述多层复合ITO薄膜包括两ITO层和一M层，其中所述M层位于两ITO层之间，M层的In含量为≥In |
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| 搜索关键词： | 一种 多层 复合 ito 薄膜 | ||
【主权项】：
暂无信息
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