[发明专利]探测信号处理方法、装置、介质、设备及光栅尺有效
申请号: | 202210661800.2 | 申请日: | 2022-06-13 |
公开(公告)号: | CN114754685B | 公开(公告)日: | 2022-09-02 |
发明(设计)人: | 郭朋军;贾星宇;李洪鹏;涂川 | 申请(专利权)人: | 探维科技(北京)有限公司 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02;G01P3/36 |
代理公司: | 北京开阳星知识产权代理有限公司 11710 | 代理人: | 贾少华 |
地址: | 100192 北京市海淀区西小口路6*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本公开涉及本应用于光栅尺的探测信号处理方法、装置、介质、设备及光栅尺,该方法包括:获取读数头在固定速度的运动状态下采集到的三路干涉信号,三路干涉信号的相位均未知;基于三路干涉信号,确定三路干涉信号的相位差,三路干涉信号包括第一路干涉信号、第二路干涉信号及第三路干涉信号,三路干涉信号的相位差包括第二路干涉信号与第一路干涉信号的相位差,以及第三路干涉信号与第一路干涉信号的相位差;基于三路干涉信号的相位差,确定两路正交信号;基于两路正交信号,确定被测目标的位移和/或速度。由于采用非固定相位采集干涉信号,对探测位置对应相位没有要求,降低了机械结构的实现难度和要求,有利于提高测量准确性。 | ||
搜索关键词: | 探测 信号 处理 方法 装置 介质 设备 光栅尺 | ||
【主权项】:
暂无信息
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