[发明专利]一种晶圆片自动贴膜机在审
| 申请号： | 202210667992.8 | 申请日： | 2022-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN115027047A | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | 王炫铭 | 申请（专利权）人： | 苏州安田丰科技有限公司 |
| 主分类号： | B29C63/02 | 分类号： | B29C63/02;B29C69/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市高新区科*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆片自动贴膜机，包括机台，还包括：切膜装置，设置于所述机台的上部用于将保护膜沿着晶圆外侧边缘的形状裁切；压膜装置，设置于所述机台的上部用于将保护膜的两端压平使的保护膜紧紧贴合在晶圆表面；其中所述压膜装置的两端分别设置有用于收放保护膜的放卷装置和收卷装置，所述压膜装置包括滑动模组、以及设置于滑动模组两端的并与滑动模组滑动连接的压紧贴合组件和收卷辅助组件。本发明中通过切膜装置采用机械方式驱动切割刀具动作沿着晶圆片外圆周将保护膜裁切下来，使得切割刀具沿晶圆外周向移动，完成对晶圆上多余的贴膜边料切割处理，提高生产晶圆的效率，可以满足不同尺寸晶圆片的定位。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆片 自动 贴膜机 | ||
【主权项】：
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