[发明专利]一种基于切比雪夫衍射积分的自聚焦激光波前在位实时监测方法在审
申请号: | 202210668719.7 | 申请日: | 2022-06-14 |
公开(公告)号: | CN114964525A | 公开(公告)日: | 2022-08-30 |
发明(设计)人: | 白剑;赵磊;李月佳 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | G01J9/00 | 分类号: | G01J9/00;G06F17/10 |
代理公司: | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人: | 彭剑 |
地址: | 310058 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于切比雪夫衍射积分的自聚焦激光波前在位实时监测方法,应用于衍射光斑采集的场景,在激光波前的出射光路上设置测量相机,所述的测量相机设置在三维精密移动平台上,通过相机实时采集的衍射光斑,通过一幅衍射光斑重建波前实现波前实时监测,采集到的衍射光斑与估计的相位组合成复振幅,复振幅通过使用切比雪夫模态分解,结合快速相位恢复波前检测技术,实现波前的实时重建。本发明提出的基于切比雪夫模态衍射积分的激光波前在位实时监测方法,无需额外复杂的检测装置即可实现高精度的波前实时监测。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 衍射 积分 自聚焦 激光 在位 实时 监测 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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