[发明专利]可调高维持电压、低触发电压的硅控整流器结构在审
申请号: | 202210669459.5 | 申请日: | 2022-06-14 |
公开(公告)号: | CN115274841A | 公开(公告)日: | 2022-11-01 |
发明(设计)人: | 庚润;田志;姬峰;陈昊瑜 | 申请(专利权)人: | 上海华力集成电路制造有限公司 |
主分类号: | H01L29/74 | 分类号: | H01L29/74;H01L29/06 |
代理公司: | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人: | 刘昌荣 |
地址: | 201203*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明提供一种可调高维持电压、低触发电压的硅控整流器结构,包括P型衬底,P型衬底上形成有相邻的N阱和P阱;N阱上设有依次间隔分布的第、二浅沟槽隔离,第一、二浅沟槽隔离间形成有第一N型离子注入层,第二浅沟槽隔离的一侧形成有第一栅极、第一、二P型离子注入层;P阱上设有依次间隔分布的第三浅沟槽隔离和第四浅沟槽隔离,第三浅沟槽隔离和第四浅沟槽隔离间形成有第三P型离子注入层,第二N型离子注入层一部分横跨N阱和P阱,第二N型离子注入层另一部分位于P阱;第二P型离子注入层和第二N型离子注入层间设有第五浅沟槽隔离。本发明可以降低触发电压;提高维持电压;调整触发电压。 | ||
搜索关键词: | 可调 维持 电压 触发 整流器 结构 | ||
【主权项】:
暂无信息
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