[发明专利]二维光栅位移测量装置有效
| 申请号： | 202210673720.9 | 申请日： | 2022-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN115046482B | 公开（公告）日： | 2023-07-07 |
| 发明（设计）人： | 李文昊;刘兆武;吉日嘎兰图;尹云飞;王玮;周文渊;白宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人： | 郭婷 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供一种二维光栅位移测量装置，包括：第一激光器系统、第二激光器系统、光束折转系统、二维衍射光栅、第一信号处理系统和第二信号处理系统；第一激光器系统和第二激光器系统用于发出具有频差的正交线偏振光束，线偏振光束经过光束折转系统被分为八束光束，其中的四束光束经过光束折转装置的折射后以Littrow角度入射至二维衍射光栅中得到四束衍射光束；四束衍射光束分别与另外四束光束分别发生干涉后形成四路干涉信号；第一信号处理系统和第二信号处理系统分别用于对四路干涉信号进行处理，实现单次衍射的两倍细分三维位移测量。本发明提高了光栅位移测量系统的稳定性和精度，使得读数头的结构更加简便与灵活。 | ||
| 搜索关键词： | 二维 光栅 位移 测量 装置 | ||
【主权项】：
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