[发明专利]一种离子源保护电路在审
申请号: | 202210674978.0 | 申请日: | 2022-06-15 |
公开(公告)号: | CN115102141A | 公开(公告)日: | 2022-09-23 |
发明(设计)人: | 江游;方向;汪晨韬;谢洁;宋佳峰;刘梅英;黄泽建;戴新华;张谛 | 申请(专利权)人: | 中国计量科学研究院 |
主分类号: | H02H7/20 | 分类号: | H02H7/20;H01J49/02 |
代理公司: | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人: | 巴晓艳 |
地址: | 100013 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种离子源保护电路,属于离子源仪器仪表技术领域,能够在离子源设备突然断电时控制气路电磁阀重新开启,从而实现对离子源设备中加热棒和喷雾器的降温,起到保护作用;该电路包括具有特定容量的充电电源和控制单元,所述充电电源的输出端与所述控制单元的供电端电连接;所述充电电源与离子源设备的供电模块连接,用于实现自身充电;所述控制单元的输入端与所述离子源设备上的气路控制模块连接,用于采集所述气路控制模块的电压状态;所述控制单元的输出端与所述离子源设备中用于实现气路开闭的电磁阀连接,用于根据采集的所述气路控制模块的电压状态控制所述电磁阀动作。 | ||
搜索关键词: | 一种 离子源 保护 电路 | ||
【主权项】:
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