[发明专利]一种低功耗光激发气体传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202210676309.7 | 申请日： | 2022-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN115032241A | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | 黄辉;渠波;尚瑞晨 | 申请（专利权）人： | 黄辉;渠波;尚瑞晨 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 北京金之桥知识产权代理有限公司 11137 | 代理人： | 朱黎光 |
| 地址： | 116024 辽宁省大连市高新区*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的一种低功耗光激发气体传感器及其制备方法，包括：陷光衬底，其顶面设置有敏感膜；光激发装置，其所发出的光线照射至陷光衬底及敏感膜上，光激发装置用于激发敏感膜中的电子空穴对；所述敏感膜包括依次叠置的表层金属氧化物薄膜、金属催化剂薄膜、底层金属氧化物薄膜，金属催化剂薄膜用于对待测气体分子进行吸附和反应，并在光激发装置的照射下激发出表面等离子共振(SPR)，表层金属氧化物薄膜与底层半导体薄膜为同种或不同种膜，所述底层金属氧化物薄膜与所述陷光衬底贴合；电极，其为两个并设置在表层金属氧化物薄膜的顶面。本发明的气体传感器具有稳定性强且功耗低的有益效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 功耗 激发 气体 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于黄辉;渠波;尚瑞晨，未经黄辉;渠波;尚瑞晨许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210676309.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：集成电路以及其制作方法
- 下一篇：一种钛铌合金铸锭的制备方法
