[发明专利]一种光谱共焦位移传感探头和传感器

摘要

本申请公开了一种光谱共焦位移传感探头，涉及光学测量领域，用于光谱共焦位移传感器，包括超表面复合透镜，用于使进入光谱共焦位移传感探头的光束在光轴方向上发生色散；超表面复合透镜包括衬底，及设于衬底的上表面和/或下表面的多个微结构，超表面复合透镜提供的相位满足：φ(r')为超表面复合透镜提供的相位，φ(0)为超表面复合透镜中心处的相位，r为超表面复合透镜上表面切平面与光线的交点的极坐标长度，r'为超表面复合透镜下表面切平面与光线的交点的极坐标长度，λ为工作波长，d'为超表面复合透镜与待测物的距离，d为超表面复合透镜与光纤端口的距离。本申请探头中的透镜仅包括一片超表面复合透镜，简化探头结构，使得探头更紧凑，且可提高探头精度。