[发明专利]一种叠层生长多层二维材料范德华异质结的方法在审
| 申请号： | 202210684258.2 | 申请日： | 2022-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN116926472A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 高力波;周振佳;徐洁;付梓豪 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | C23C14/18 | 分类号： | C23C14/18;C23C14/35;C23C14/58 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 王艳 |
| 地址： | 210009 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种叠层生长多层二维材料范德华异质结的方法，该方法通过精确控制反应温度以及每一步的反应产物，实现逐层生长，制备出晶圆级、多层数、多种类的高质量范德华异质结薄膜。此外，本发明从物理气相沉积制备金属薄膜，到化学气相沉积得到目标产物，不仅控制了参与反应的原料量，几乎没有浪费原料，与传统的方法相比，原料利用率大大提高，产物的晶体质量大大提高，同时产物具有极强的大气环境稳定性。本发明所制备出的范德华异质结薄膜尺寸可达晶圆级，并可实现图案化生长，对于规模化的生产应用具有重要意义，多种类范德华异质结薄膜材料的成功制备，为光电器件、自旋量子器件等领域的发展提供了材料制备技术支持。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 生长 多层 二维 材料 范德华异质结 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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