[发明专利]微管缺陷检测方法、装置、设备、存储介质和程序产品在审
| 申请号： | 202210690123.7 | 申请日： | 2022-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN115049621A | 公开（公告）日： | 2022-09-13 |
| 发明（设计）人： | 张建伟;施文心;赵天罡 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 王佩 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种微管缺陷检测方法、装置、设备、存储介质和程序产品。通过获取待测半导体晶圆的待检测图像，对待检测图像进行滤波处理，得到滤波处理后的第一检测图像，进一步对第一检测图像进行自适应阈值处理，得到目标检测图像，从而根据目标检测图像以及预设的分类算法，确定待测半导体晶圆的微管缺陷。本方法在获取待测半导体晶圆的待检测图像后，采用图像处理算法，对待检测图像进行分析处理，从而识别待测半导体晶圆的微管缺陷，替代传统的人工利用显微镜目检的识别方式，提高了半导体晶圆的微管缺陷准确率和检测效率，降低检测成本。而且，在对半导体晶圆的微管缺陷的微管缺陷进行检测时，不会对半导体晶圆造成二次破坏。 | ||
| 搜索关键词： | 微管 缺陷 检测 方法 装置 设备 存储 介质 程序 产品 | ||
【主权项】：
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