[发明专利]一种碳化硅生产设备用密封性检测装置在审
申请号: | 202210694300.9 | 申请日: | 2022-06-20 |
公开(公告)号: | CN115060423A | 公开(公告)日: | 2022-09-16 |
发明(设计)人: | 胡动力;王人松;周敏;徐益新 | 申请(专利权)人: | 连城凯克斯科技有限公司 |
主分类号: | G01M3/04 | 分类号: | G01M3/04 |
代理公司: | 无锡亿联盛知识产权代理有限公司 32625 | 代理人: | 李晶晶 |
地址: | 214000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明属于碳化硅生产设备技术领域,具体的说是一种碳化硅生产设备用密封性检测装置,包括炉体,所述炉体底端贯通连接有进气管,所述炉体顶端安装有检测板,所述检测板底面固定有多个安装架,所述安装架内部安装有检测轮,所述检测轮外部转动连接有滚动轮,所述检测轮与滚动轮之间固定有复位弹簧,所述滚动轮内部且远离复位弹簧的一侧固定有检测触点,所述检测轮内部且靠近检测触点的一侧固定有警报触点;通过炉体内的气体会沿着孔隙逸出,从而引动漂浮组件运动,进而带动滚动轮进行,滚动轮转动会带动检测触点与警报触点相接触发送报警信号,如此便达到了可自动检测炉体的气密性并自动报警的效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 碳化硅 生产 备用 密封性 检测 装置 | ||
【主权项】:
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