[发明专利]一种碳化硅生产设备用密封性检测装置在审

专利信息
申请号: 202210694300.9 申请日: 2022-06-20
公开(公告)号: CN115060423A 公开(公告)日: 2022-09-16
发明(设计)人: 胡动力;王人松;周敏;徐益新 申请(专利权)人: 连城凯克斯科技有限公司
主分类号: G01M3/04 分类号: G01M3/04
代理公司: 无锡亿联盛知识产权代理有限公司 32625 代理人: 李晶晶
地址: 214000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明属于碳化硅生产设备技术领域,具体的说是一种碳化硅生产设备用密封性检测装置,包括炉体,所述炉体底端贯通连接有进气管,所述炉体顶端安装有检测板,所述检测板底面固定有多个安装架,所述安装架内部安装有检测轮,所述检测轮外部转动连接有滚动轮,所述检测轮与滚动轮之间固定有复位弹簧,所述滚动轮内部且远离复位弹簧的一侧固定有检测触点,所述检测轮内部且靠近检测触点的一侧固定有警报触点;通过炉体内的气体会沿着孔隙逸出,从而引动漂浮组件运动,进而带动滚动轮进行,滚动轮转动会带动检测触点与警报触点相接触发送报警信号,如此便达到了可自动检测炉体的气密性并自动报警的效果。
搜索关键词: 一种 碳化硅 生产 备用 密封性 检测 装置
【主权项】:
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