[发明专利]一种柔性可弯曲钛基掺硼金刚石薄膜及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 202210695022.9 | 申请日： | 2022-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN115910622A | 公开（公告）日： | 2023-04-04 |
| 发明（设计）人： | 张静;赵志岩;李东玮;李雨果;李勇;高萌;姜晓萍;陶圆;张兴双 | 申请（专利权）人： | 山东省科学院新材料研究所 |
| 主分类号： | H01G11/26 | 分类号： | H01G11/26;H01G11/30;H01G11/86 |
| 代理公司： | 北京兴智翔达知识产权代理有限公司 11768 | 代理人： | 郭卫芹 |
| 地址： | 250014 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种柔性可弯曲钛基掺硼金刚石薄膜及其制备方法和应用，涉及半导体材料技术领域。通过选择金属钛尺寸、预处理金属钛改善其对金刚石的附着能力、再将其作为基底材料，利用金属钛良好的弯曲性能和稳定的化学性质，从而制备出可弯曲钛基掺硼金刚石薄膜。经上述简单、便捷的制备方法得到的钛基掺硼金刚石薄膜，可以兼顾柔性可弯曲功能和优异的电化学性能；以此组装而成的柔性电容器器件在电流密度为0.1mA cm |
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| 搜索关键词： | 一种 柔性 弯曲 钛基掺硼 金刚石 薄膜 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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