[发明专利]一种用于芯片平面度检测的自动化设备及其使用方法在审
申请号: | 202210699605.9 | 申请日: | 2022-06-20 |
公开(公告)号: | CN115069587A | 公开(公告)日: | 2022-09-20 |
发明(设计)人: | 郭志红;麦荣俊;程利芹 | 申请(专利权)人: | 博睿自动化设备(广州)有限公司 |
主分类号: | B07C5/04 | 分类号: | B07C5/04;B07C5/02;B07C5/36;B07C5/38 |
代理公司: | 上海尚象专利代理有限公司 31335 | 代理人: | 郑婷 |
地址: | 510000 广东省广州市黄埔区宏*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及机械领域,具体涉及一种用于芯片平面度检测的自动化设备。一种用于芯片平面度检测的自动化设备,包括设备本体,设备本体包括基座,基座上设有第一分盘机构,第一分盘机构一侧设有传送带,设备本体包括检测装置、分拣装置,检测装置设置在分拣装置的前侧;检测装置设置在传送带的一侧,检测装置包括第一机械手、摄像头;分拣装置设置在传送带的一侧,分拣装置包括第二机械手、第一固定料盘、第二固定料盘。本发明通过检测装置与分拣装置的配合工作,提升了对芯片外观的检测精度,提高了生产效率、降低生产成本、保障产线稳定,有利于产线自动化。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 芯片 平面 检测 自动化 设备 及其 使用方法 | ||
【主权项】:
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