[发明专利]一种中红外波段的宽谱高效率探测器及其制备方法在审
| 申请号： | 202210701390.X | 申请日： | 2022-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN115101655A | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 张蜡宝;戴越;范克彬;陈奇;袁杭;李飞燕;涂学凑;康琳;吴培亨 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | H01L39/02 | 分类号： | H01L39/02;H01L39/24;B82Y30/00;B82Y40/00;G01J1/42 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 金诗琦 |
| 地址： | 210093 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种中红外波段的宽谱高效率探测器，自下而上依次包括硅片、反射层和介质层，介质层的表面设置U型超导纳米线，U型超导纳米线的开口端分别与金电极一、金电极二相连，U型超导纳米线的两侧对称设置金天线，金电极一与恒压源相连，金电极二接地。本发明还公开了一种中红外波段的宽谱高效率探测器的制备方法。本发明的基于金天线增强的超导纳米线单光子探测器，具有场增益高、光敏面积大、纳米线吸收效率高、本征量子效率高、极低填充率等特点，能够高效率的应用于中红外波段探测应用领域；与传统的光学腔超导单光子探测器相比，具有工艺制备可行性高、与平面工艺兼容性高、具备场增益等优点，可以探测更宽波段的中红外光信号。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 红外 波段 高效率 探测器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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