[发明专利]微量分析用歧管阀组件在审
| 申请号： | 202210715479.1 | 申请日： | 2022-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN116066597A | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 林光信;朴准虎;李大行;田赫 | 申请（专利权）人： | 非视觉污染分析科学技术有限公司 |
| 主分类号： | F16K11/00 | 分类号： | F16K11/00;F16K27/00;F16K31/00 |
| 代理公司： | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人： | 吴大建;张晓梅 |
| 地址： | 韩国京畿道龙仁市器兴区兴*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种歧管阀组件，其用于构成在半导体制造工序等中为了分析作为晶片和化学品的污染源的金属等元素而将微量试样传送至分析仪的工序中需要的多个组合的阀组件，并且阀的组合没有限制，减少阀内部的停滞区域，具有优化试样的使用、改善污染问题的效果。本发明的微量分析用歧管阀组件是用于控制提供至分析仪等的试样或化学品的流动的歧管阀组件，其中，所述微量分析用歧管阀组件由多个阀模块组合而成，所述阀模块包括：阀口部，内部具有连接流路，外部具有阀口；阀驱动部，用于打开和关闭所述连接流路与阀口之间的流动；以及阀体部，内部具有与所述阀口部的连接流路和连接流路。 | ||
| 搜索关键词： | 微量分析 歧管 组件 | ||
【主权项】：
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