[发明专利]TiCN涂层及其制备方法在审
| 申请号： | 202210716532.X | 申请日： | 2022-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN115928009A | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 李立升;夏力;林海天 | 申请（专利权）人： | 广东华升纳米科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/32;C23C14/35;C23C14/02 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 郑小粤 |
| 地址： | 523835 广东省东莞市大岭*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明涉及一种TiCN涂层及其制备方法，以AlTi靶进行脉冲高偏压电弧离子镀膜，于基体上沉积Ti |
||
| 搜索关键词： | ticn 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东华升纳米科技股份有限公司，未经广东华升纳米科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210716532.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
