[发明专利]一种单晶硅棒旋转提拉装置在审
| 申请号： | 202210717446.0 | 申请日： | 2022-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN115044968A | 公开（公告）日： | 2022-09-13 |
| 发明（设计）人： | 常自蕊 | 申请（专利权）人： | 深圳市迈斯泰克电子有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/30 | 分类号： | C30B15/30;C30B29/06 |
| 代理公司： | 深圳市鼎智专利代理事务所(普通合伙) 44411 | 代理人： | 张小晶 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公布了一种单晶硅棒旋转提拉装置，包括提拉杆、滑轨、旋转部件、提拉部件，提拉杆设有键槽，杆壁设有上轴承座和下轴承座；滑轨与上轴承座和下轴承座固定连接；旋转部件包括旋转电机、第一电机安装架以及齿轮，旋转电机输出端与齿轮之间连接有旋转驱动带；提拉部件包括第二电机安装架及提拉件和滑动件，第二电机安装架上设置有提拉电机，下轴承座上设置有下安装座，下安装座上设置有下齿轮辊轴，提拉电机设置有上齿轮辊轴，上齿轮辊轴与下齿轮辊轴之间通过提拉驱动带连接，提拉件与提拉驱动带固定连接，滑动件滑动的配置在滑轨上；本发明提出一种单晶硅棒旋转提拉装置，其目的是避免旋转提拉过程中导致晶棒晃动，改善晶体的径向均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 旋转 装置 | ||
【主权项】：
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