[发明专利]一种折射率可调的红外选择性吸收复合膜及其制备方法在审
| 申请号： | 202210718094.0 | 申请日： | 2022-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN114941129A | 公开（公告）日： | 2022-08-26 |
| 发明（设计）人： | 高俊华;姜雨欣;陈芝琳;曹鸿涛;陈浩 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/34 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 何秋霞;曹兆霞 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学薄膜技术领域，公开一种折射率可调的红外选择性吸收复合膜及其制备方法，包括衬底和吸收膜；所述衬底为刚性或柔性衬底，自衬底向外单向形成一层吸收膜；所述吸收膜为非晶结构，由任意数量红外吸收靶材共溅射形成；所述红外选择吸收复合膜的折射率、吸收波段根据共溅射参数和共溅射红外吸收靶材比例任意调控。本发明公开的吸收膜在宽谱光照射下，可实现一定的选择性吸收，且吸收膜可根据溅射条件的改变灵活调控吸收范围和强度及其折射率，且制备方法简单、高效。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 折射率 可调 红外 选择性 吸收 复合 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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