[发明专利]一种用于单晶硅的制绒液及制绒方法有效
申请号: | 202210725214.X | 申请日: | 2022-06-23 |
公开(公告)号: | CN115216301B | 公开(公告)日: | 2023-08-29 |
发明(设计)人: | 颜志勇;胡英;王晓馨;于利超;易洪雷;张葵花;姚勇波;李喆 | 申请(专利权)人: | 嘉兴学院 |
主分类号: | C09K13/02 | 分类号: | C09K13/02;C30B33/10;H01L31/0236;H01L31/18 |
代理公司: | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人: | 符继超 |
地址: | 314000 浙江省嘉兴市经济开*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种用于单晶硅的制绒液及制绒方法,属于单晶硅制绒液技术领域。所述制绒液由如下质量百分比含量的组份组成:碱性物质1‑3%,制绒添加剂0.3‑2.5%,低共熔溶剂5‑30%,余量为水。所述制绒液可用于任何尺寸单晶硅片的制绒。本发明还公开了一种用于单晶硅的制绒方法,先将单晶硅片置于自制的预处理液中清洗,然后再置于上述制绒液中制绒,制绒温度为50‑85℃,制绒时间为80‑250s。本发明解决了制绒时间长、制绒绒面不均匀和制绒液寿命短的问题,具有制绒液稳定性好、制绒后单晶硅片反射率低等优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 单晶硅 制绒液 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于嘉兴学院,未经嘉兴学院许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202210725214.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。