[发明专利]一种用于单晶硅的制绒液及制绒方法有效

专利信息
申请号: 202210725214.X 申请日: 2022-06-23
公开(公告)号: CN115216301B 公开(公告)日: 2023-08-29
发明(设计)人: 颜志勇;胡英;王晓馨;于利超;易洪雷;张葵花;姚勇波;李喆 申请(专利权)人: 嘉兴学院
主分类号: C09K13/02 分类号: C09K13/02;C30B33/10;H01L31/0236;H01L31/18
代理公司: 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 代理人: 符继超
地址: 314000 浙江省嘉兴市经济开*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种用于单晶硅的制绒液及制绒方法,属于单晶硅制绒液技术领域。所述制绒液由如下质量百分比含量的组份组成:碱性物质1‑3%,制绒添加剂0.3‑2.5%,低共熔溶剂5‑30%,余量为水。所述制绒液可用于任何尺寸单晶硅片的制绒。本发明还公开了一种用于单晶硅的制绒方法,先将单晶硅片置于自制的预处理液中清洗,然后再置于上述制绒液中制绒,制绒温度为50‑85℃,制绒时间为80‑250s。本发明解决了制绒时间长、制绒绒面不均匀和制绒液寿命短的问题,具有制绒液稳定性好、制绒后单晶硅片反射率低等优点。
搜索关键词: 一种 用于 单晶硅 制绒液 方法
【主权项】:
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