[发明专利]一种氩气纯化装置及其纯化方法在审
| 申请号： | 202210729246.7 | 申请日： | 2022-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN115025607A | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | 王帅;张黎静;吴骏 | 申请（专利权）人： | 安徽华中半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/76 | 分类号： | B01D53/76;B01D53/75;B01D53/86;B01D53/62;B01D53/46;B01D53/04;C01B23/00 |
| 代理公司： | 安徽申策知识产权代理事务所(普通合伙) 34178 | 代理人： | 程艳梅 |
| 地址： | 239500 安徽省滁州*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及氩气纯化技术领域，且公开了一种氩气纯化装置，包括装置机体，所述装置机体内部呈矩阵方式固定设置有第一反应罐、第二反应罐、脱氧反应罐和吸气剂罐；所述第一反应罐顶部外侧固定设置有进气管，所述吸气剂罐顶部外侧固定设置有出气管，所述第一反应罐与第二反应罐底部之间固定连接有第一连通管，所述第二反应罐与脱氧反应罐顶部之间固定连接有第二连通管，所述脱氧反应罐与吸气剂罐底部之间固定连接有第三连通管。本发明通过第一反应罐、第二反应罐、脱氧反应罐和吸气剂罐，对氩气的四个阶段的提纯操作，提高提纯质量，对除氩气以外的气体进行吸附，提纯方式严谨，可以对氩气进行充分提纯，提高氩气的纯度质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纯化 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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