[发明专利]一种中心支撑的压电式微机械超声换能器在审
| 申请号： | 202210732005.8 | 申请日： | 2022-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN115025959A | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | 任俊彦;王言;何勒铭 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 陆飞;陆尤 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于微机电技术领域，具体为一种中心支撑的压电式微机械超声换能器。本发明超声换能器是由微机械超声换能器单元延拓形成的二维阵列组成；换能器单元结构包括：衬底、支撑柱、空腔、中性层和振动层；支撑柱和空腔位于同一高度，且支撑柱位于空腔中心；振动层包含弹性层、底电极层、压电层和顶电极层；弹性层通过支撑柱与衬底连接，其外沿不与支撑层或衬底硬接触或相连，可做大幅度振动。本发明在加载负载介质后，其振动特征为以中心支撑柱为支点，振动膜外沿具有较大振动自由度。本发明的振动模态具有更大的薄膜平均振幅和更高的机电耦合系数，进而实现高性能的超声波信号收发。通过设计不同支撑柱半径，改变换能器的谐振频率等特性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 中心 支撑 压电 式微 机械 超声 换能器 | ||
【主权项】：
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