[发明专利]一种掩膜版及其制备方法在审
| 申请号： | 202210744694.4 | 申请日： | 2022-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN115261783A | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 于鹏程;邱岳;李文星;张群 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 广东君龙律师事务所 44470 | 代理人： | 丁建春 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请公开了一种掩膜版及其制备方法，其中，掩膜版包括：框架；至少一个掩膜条，包括贯穿其厚度方向的多个第一过孔，多个第一过孔沿第一方向间隔排布；至少一个支撑条，支撑条设置于掩膜条一侧，且与框架固定连接；支撑条包括贯穿其厚度方向的多个第二过孔，多个第二过孔沿第一方向间隔排布；支撑条与框架或掩膜条滑动连接；其中，当支撑条相对掩膜条沿第一方向运动至不同位置时，多个第一过孔和多个第二过孔相互配合以形成不同位置状态，位置状态至少包括：第一状态，至少一个第一过孔与至少一个第二过孔位置相对应，以形成至少一个贯通掩膜条厚度方向和支撑条厚度方向的通孔。通过上述方式，能够有效降低成本，减小生产过程的出错概率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜版 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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