[发明专利]具有动态聚焦的能谱仪在审
| 申请号： | 202210748141.6 | 申请日： | 2022-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN115547796A | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | A·R·哈通;A·亨斯特拉;S·拉扎;P·C·蒂梅耶 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/153;H01J37/26 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 黄涛;周学斌 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文公开了一种用于透射电子显微镜（TEM）的具有动态聚焦的能谱仪。示例能谱仪和TEM至少包括：带电粒子柱，所述带电粒子柱包括布置在样品平面之后的投影系统，所述投影系统以第一配置操作；能谱仪，所述能谱仪与所述带电粒子柱联接以获取一个或多个能量损失谱。所述能谱仪包括色散元件、偏置管、用于放大所述能量损失谱和用于校正像差的光学器件，以及与所述能谱仪的谱平面共轭布置的检测器，其中所述能谱仪另外包括被电偏置以将谱的至少一部分重新聚焦到所述检测器上的光学元件，并且其中所述电偏置的值至少部分地基于所述带电粒子柱的所述第一配置。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 动态 聚焦 能谱仪 | ||
【主权项】：
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