[发明专利]一种碳化硅晶体生长的坩埚内可视化装置及方法在审
| 申请号： | 202210748691.8 | 申请日： | 2022-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN115094512A | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 毛瑞川;苏闻峰;丁柏松;汪能超 | 申请（专利权）人： | 南京晶升装备股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/36;G06T5/00;G06T7/00;G06T7/13;G06T7/62;G06T7/90 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 张弛 |
| 地址： | 210046 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种碳化硅晶体生长的坩埚内可视化装置及方法，该装置包括炉体、坩埚组件、加热器及保温屏；炉体的两侧分别设有相对的CT机与CT成像接收器；所述坩埚组件位于CT机与CT成像接收器之间。通过CT成像，可在长晶过程中观察石墨坩埚内部，让长晶界面易于观察，应用于生产过程中，可便于发现生产过程中的晶体缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 晶体生长 坩埚 可视化 装置 方法 | ||
【主权项】：
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