[发明专利]一种掺钪氮化铝和钨的选择性蚀刻液有效
| 申请号： | 202210757316.X | 申请日： | 2022-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN114989825B | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 班昌胜;贺兆波;叶瑞;姜飞;张庭;冯帆;冯凯;王书萍;杜程 | 申请（专利权）人： | 湖北兴福电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/02 | 分类号： | C09K13/02;H10N30/082 |
| 代理公司： | 宜昌市三峡专利事务所 42103 | 代理人： | 成钢 |
| 地址： | 443007 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种掺钪氮化铝和钨的选择性蚀刻液，按质量百分数计，包括碱性物质：10~25%、氧化剂1.5~2.5%；钨蚀刻抑制剂0.2~0.4%；表面活性剂0.03~0.1%；余量为去离子水。本发明所述的钪氮化铝碱蚀刻液能够在高效地蚀刻掺钪氮化铝同时保证金属钨的低蚀刻速率，最大程度地避免对金属钨的蚀刻。蚀刻过程中，氧化剂可极大程度提升钪氮化铝的蚀刻速率，减少蚀刻残留，延长蚀刻液寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 选择性 蚀刻 | ||
【主权项】：
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