[发明专利]一种晶片还原黑化颜色获取方法及系统

摘要

本发明公开了一种晶片还原黑化颜色获取方法及系统，方法包括：测量出晶片的中心点及距晶片边缘预设距离的N个点的L＊值、a＊值和b＊值；所述N个点沿晶片的周向均匀分布；对测量出的N+1个点的L＊值进行差值运算或对测量出的N+1个点的L＊值、a＊值和b＊值分别进行差值运算，基于差值运算的结果计算出晶片的色差均匀性。本发明能够计算出晶片色差均匀性和晶片色度值，进而根据晶片色度值和色差均匀性判别晶片的透过率和线宽均匀性，既不造成材料损失又能即时性与批量性生产，提高了集成电路曝光线宽制程能力。