[发明专利]一种镍CH复合黑腔制造方法

摘要

本发明公开了一种镍CH复合黑腔制造方法，该方法采用聚醚砜作芯轴材料，通过金刚石车削加工聚醚砜芯轴，获得表面粗糙度较小的芯轴，接着采用磁控溅射技术在聚醚砜芯轴表面溅射数微米厚镍层，并通过气相沉积技术在表面制备CH层，之后通过飞秒激光加工切断黑腔入射孔附近的镍/CH层，并通过金刚石车削技术对芯轴进行二次加工，远离黑腔有效区域去除镀层，露出芯轴材料，最后为避免去芯轴过程中溶胀和提高去除效率，再采用铣削加工去除芯轴中心区域材料，最后通过丙酮或氯仿溶液去除聚醚砜芯轴，获得镍CH复合黑腔。