[发明专利]一种石墨烯薄膜的转移方法在审
| 申请号： | 202210767015.5 | 申请日： | 2022-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN115161775A | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 王炜;沈大勇;谭化兵;瞿研;郭冰 | 申请（专利权）人： | 常州第六元素半导体有限公司;江苏江南烯元石墨烯科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/00 | 分类号： | C30B33/00 |
| 代理公司： | 北京世衡知识产权代理事务所(普通合伙) 11686 | 代理人： | 肖淑芳 |
| 地址： | 213100 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本方案公开了一种石墨烯薄膜的转移方法，该方法包括如下步骤：将转移介质贴附于生长在生长衬底上的石墨烯薄膜远离生长衬底一侧的表面上；剥离生长衬底；将石墨烯薄膜远离转移介质的一侧表面贴附于目标衬底上形成转移介质、石墨烯薄膜和目标衬底依次堆叠的结构；将依次堆叠的转移介质、石墨烯薄膜和目标衬底置于容器中，在一定的温度和环境压强下向所述转移介质施加压力；从容器中取出依次堆叠的转移介质、石墨烯薄膜和目标衬底，剥离所述转移介质；其中，所述转移介质为非晶态物质。该转移方法采用了非晶态物质作为转移介质，实现了向粗糙表面转移石墨烯薄膜后石墨烯薄膜仍保持连续的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 薄膜 转移 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州第六元素半导体有限公司;江苏江南烯元石墨烯科技有限公司，未经常州第六元素半导体有限公司;江苏江南烯元石墨烯科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210767015.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
