[发明专利]一种氮化镓异质结双极型光子晶体管及其制备方法在审
| 申请号： | 202210769781.5 | 申请日： | 2022-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN115117209A | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 刘志宏;许淑宁;樊雨佳;徐美;危虎;周瑾;邢伟川;张苇杭;冯欣;张进成;郝跃 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学广州研究院;西安电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/06;H01L33/08 |
| 代理公司： | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人： | 刘长春 |
| 地址： | 510000 广东省广州市黄*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氮化镓异质结双极型光子晶体管及其制备方法，包括：衬底；以及依次设置于衬底上的成核层、缓冲层；集电区，设置于缓冲层上；集电极，设置于集电区上的一端；下多量子阱层，设置于集电区上的另一端；集电极与下多量子阱层之间存在间隔；基区，设置于下多量子阱层上；基极，设置于基区上的一端；其中，基极和集电极设置于同一侧；上多量子阱层，设置于基区上的另一端；基极与上多量子阱层之间存在间隔；发射区，设置于上多量子阱层上；发射极，设置于发射区上的一端；发射极与集电极设置于不同侧；其中，集电区、下多量子阱层、基区、上多量子阱层和发射区的材料均为三族氮化物。本发明同时具有晶体管和LED的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 镓异质结双极型 光子 晶体管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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