[发明专利]研磨清洁组件及其控制方法和研磨清洁装置在审
| 申请号： | 202210774577.2 | 申请日： | 2022-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN115091333A | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 高军鹏;康宏刚;谭祖俭;彭广宁 | 申请（专利权）人： | 深圳市易天自动化设备股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B27/033 | 分类号： | B24B27/033;B24B47/12;B24B47/28 |
| 代理公司： | 深圳紫辰知识产权代理有限公司 44602 | 代理人： | 江训洋 |
| 地址： | 518104 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供一种研磨清洁组件及其控制方法和研磨清洁装置，使转轴与第一套筒通过平键来实现周向上的相对固定，以及轴向上的可相对滑动，从而转轴可相对第一套筒和第二套筒伸缩，以使研磨盘根据需求靠近或远离研磨清洁工位；转轴的扭矩也可通过平键传递至第一套筒，从而第一套筒可相对第二套筒转动；第二套筒用以固定在外部结构上，以实现第一套筒在轴向上的固定，从而可防止转轴和第一套筒沿径向震动，以提高转轴的旋转精度。与使用滚珠花键轴的研磨清洁机构相比，本申请中转轴、平键与第一套筒的装配结构更加简单，从而可简化研磨清洁组件的装配过程，提高装配效率。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 清洁 组件 及其 控制 方法 装置 | ||
【主权项】：
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