[发明专利]体声波滤波器及其制备方法在审
| 申请号： | 202210775331.7 | 申请日： | 2022-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN115065338A | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 项少华;王冲 | 申请（专利权）人： | 中芯越州集成电路制造（绍兴）有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/56 | 分类号： | H03H9/56;H03H9/58;H03H3/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 顾丹丽 |
| 地址： | 312000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种体声波滤波器及其制备方法。通过在腔体内设置支撑柱以支撑下电极及其上方的膜层，从而可允许下电极的端部悬空设置在腔体的区域内而不需要通过腔体的侧壁进行支撑，并且可以更为灵活的实现下电极延伸部和上电极延伸部在腔体之外相互错开，进而能够在实现上下电极的电性引出的基础上，有效规避上电极和下电极在腔体之外相互重叠，降低了在非有效谐振区域内因上下电极重叠而产生的机械能损失，提高器件的Q值。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 滤波器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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