[发明专利]一种氮化镓生长釜用抗腐蚀超高压高温热电偶在审
| 申请号： | 202210779594.5 | 申请日： | 2022-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN115127685A | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 乔焜 | 申请（专利权）人： | 国镓芯科（深圳）半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01K1/10 | 分类号： | G01K1/10;G01K1/12;G01K1/08;G01K1/14;H01L35/32;H01L35/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福田区华富*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氮化镓生长釜用抗腐蚀超高压高温热电偶，属于化工设备技术领域，其包括密封座垫、釜盖、压垫、压紧螺母、引出线以及热电偶；所述密封座垫安装在釜盖的凹槽上，所述压垫前端面抵接在所述密封座垫内，所述压垫后端面与压紧螺母抵接，所述压紧螺母连接在所述釜盖的凹槽末端；所述热电偶铠装于所述压垫内部中心孔上，所述热电偶前端伸出所述压垫位于所述釜盖内侧的釜体内，所述热电偶后端与所述引出线相连接。本发明结构简单，操作方便的热电偶，能在腐蚀性介质超高压高温条件下长时间使用，并能长时间在压力100MPa至150MPa、温度650℃下使用，安装、维护简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 生长 釜用抗 腐蚀 超高压 高温 热电偶 | ||
【主权项】：
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