[发明专利]一种二维材料法珀型点式光纤传感器的制备方法在审
申请号: | 202210779770.5 | 申请日: | 2022-07-04 |
公开(公告)号: | CN115164954A | 公开(公告)日: | 2022-10-11 |
发明(设计)人: | 刘瑛;刘冠军;邱静;吕克洪;张勇;杨鹏;郭斯琳 | 申请(专利权)人: | 中国人民解放军国防科技大学 |
主分类号: | G01D5/353 | 分类号: | G01D5/353 |
代理公司: | 长沙国科天河知识产权代理有限公司 43225 | 代理人: | 赵小龙 |
地址: | 410073 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明公开了一种二维材料法珀型点式光纤传感器的制备方法,包括如下步骤:裁剪二维材料、固定二维材料、旋涂支撑材料、裁剪成小块、刻蚀二维材料生长基底、清洗支撑材料覆盖保护的二维材料、捞取支撑材料覆盖保护的二维材料、控温烘烤、使覆盖有二维材料的光纤陶瓷插芯端面微浸入支撑材料去除溶剂中、去除支撑材料、使用低表面张力溶剂置换去除溶、分离吹干后取下光纤陶瓷插芯、装配单模光纤和光纤陶瓷插芯。本发明应用于光纤传感领域,可以减少器件制备过程中二维材料的破损率,显著提高二维材料法珀型点式光纤传感器制备成功率,可推广至二维材料法珀型点式光纤传感器规模化制备。 | ||
搜索关键词: | 一种 二维 材料 法珀型点式 光纤 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】:
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