[发明专利]改进型晶体切片设备在审

专利信息
申请号: 202210780469.6 申请日: 2022-07-04
公开(公告)号: CN115179446A 公开(公告)日: 2022-10-14
发明(设计)人: 刘砚滨;赵中阳;赵春锋;于会永 申请(专利权)人: 大庆溢泰半导体材料有限公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04;B28D7/04;B28D7/00;B24B27/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 163000 黑龙江省大庆市高新区火*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要: 一种改进型晶体切片设备,涉及晶体切割技术领域,包括晶体卡装装置,晶体卡装装置包括轨道、沿轨道滑动的滑动盒、减速箱,轨道一侧带齿条,滑动盒内设置有齿轮A、齿轮B和齿轮C,其中齿轮A与齿条啮合,齿轮B与齿轮C啮合组成减速齿轮对,齿轮B与齿轮A同轴设置且均同步随轴转动,其中齿轮B的直径大于齿轮A和齿轮C的直径,滑动盒外侧设置有从动棘轮和主动棘轮,从动棘轮和主动棘轮啮合,从动棘轮与齿轮C同轴设置且均同步随轴转动,减速箱的输出轴通过联轴器与主动棘轮的齿轮轴连接,主动棘轮的齿轮轴还固定连接有用于卡装晶锭的卡具。本发明减小了锯切过程中砂线与晶锭的接触面积,降低了砂线锯切阻力,非常有利于延长砂线的使用寿命。
搜索关键词: 改进型 晶体 切片 设备
【主权项】:
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