[发明专利]一种利用液态金属镓制备大尺寸二维晶态氮化镓的方法有效
| 申请号： | 202210781925.9 | 申请日： | 2022-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN115142134B | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 张骐;呼布钦;李馨;徐旻轩 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B25/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本发明属于氮化镓制备领域，为解决如何使用无毒无害的氮源用以制备尺寸较大、厚度较小的二维氮化镓材料的问题，本发明提供一种镓基液态金属辅助制备二维氮化镓的方法，本技术方案通过化学气相沉积实现，包含三步：(1)使用镓基液态金属在氧化硅片上制得二维氧化镓薄膜；(2)将二维氧化镓薄膜与氮源尿素(CH |
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| 搜索关键词： | 一种 利用 液态 金属 制备 尺寸 二维 晶态 氮化 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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