[发明专利]直线度误差和位置同时测量的检测装置及测试方法在审
| 申请号： | 202210784780.8 | 申请日： | 2022-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN115127450A | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 陈宁;郭钢祥;郭斌;王超;谢昊 | 申请（专利权）人： | 浙江省计量科学研究院 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/02;G01B11/27 |
| 代理公司： | 杭州汇和信专利代理有限公司 33475 | 代理人： | 董超 |
| 地址： | 310018 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及直线度误差和位置同时测量的检测装置及测试方法，该方案包括控制端以及依次设置的双频激光器、偏振分光镜、普通分光镜、半透半反射镜、渥拉斯顿棱镜及双直角棱镜；偏振分光镜一侧依次设有第一偏振片和第一光电探测器；普通分光镜一侧依次设有第二偏振片和第二光电探测器，另一侧依次设有四分之一波片和反射镜；半透半反射镜和渥拉斯顿棱镜组合作为移动测量镜；渥拉斯顿棱镜接收从半透半反射镜发出的透射光的同一侧依次设有二分之一波片、偏振分光镜及第三光电探测器，该偏振分光镜另一侧设有第四光电探测器。本发明在一套激光干涉装置中实现直线度误差与位移的同时测量，提高直线度误差测量精度与稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 直线 误差 位置 同时 测量 检测 装置 测试 方法 | ||
【主权项】：
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