[发明专利]一种组合式太赫兹阵列探测器

摘要

本发明公开了一种组合式太赫兹阵列探测器。所述阵列探测器包括N个太赫兹探测器；所述太赫兹探测器包括辐射太赫兹的天线单元、天线单元的同轴馈电结构、用于检波的场效应晶体管、行开关、列开关和静电保护电路。所述天线单元、行开关、列开关和场效应探测单元平行同向放置并组成M×M的天线阵列；天线单元包括开槽主辐射贴片和双层慢波结构；探测器中加入了静电保护电路，有效提高了芯片的良品率，本发明用更小面积的天线阵列在硅基上实现了高响应度，并支持不同尺寸的天线单元工作在相同的谐振点上，且可以通过调控天线阵列的面积来调控系统性能，同时可通过开关阵列调节探测系统的分辨率。