[发明专利]一种高灵敏度的光热偏转光谱测试装置及校准方法在审

专利信息
申请号: 202210796423.3 申请日: 2022-07-06
公开(公告)号: CN115372291A 公开(公告)日: 2022-11-22
发明(设计)人: 金一政;金王骁;刘杨 申请(专利权)人: 浙江大学
主分类号: G01N21/31 分类号: G01N21/31;G01N21/01
代理公司: 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 代理人: 彭剑
地址: 310058 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种高灵敏度的光热偏转光谱测试装置及校准方法,包括互相垂直的探测光光路和泵浦光光路,其中,沿泵浦光光路依次布置有泵浦光光源、单色仪、光学斩波器、泵浦光透镜组和吸收池;沿探测光光路依次布置有探测光光源、空间滤波系统、探测光聚焦透镜、吸收池和位敏探测器;所述位敏感测器的信号输出端与锁相放大器的信号输入端相连,锁相放大器的输出端连接至电脑;单色仪的信号控制端与电脑相连,光学斩波器的信号输出端与锁相放大器的信号输入端相连;所述的空间滤波系统包括沿光路布置的空间滤波聚焦透镜、微孔、空间滤波准直透镜和光阑。利用本发明,可以提高光热偏转光谱的测试灵敏度,使得薄膜吸光率测试精度可以达到10‑5~10‑4
搜索关键词: 一种 灵敏度 光热 偏转 光谱 测试 装置 校准 方法
【主权项】:
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