[发明专利]一种W-Si-B硬质涂层及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 202210798530.X | 申请日： | 2022-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN115181948A | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 裴志亮;李文赫;李彤;宫骏;孙超 | 申请（专利权）人： | 中国科学院金属研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 于晓波 |
| 地址： | 110016 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种W‑Si‑B硬质涂层及其制备方法，属于硬质耐磨涂层技术领域。采用直流磁控溅射的工艺，在通过调控Si靶电流、基底偏压和沉积温度等参数，在YG8硬质合金上制备了W‑Si‑B硬质涂层。该涂层有较高的硬度与韧性，较好的耐磨性能。本发明所涉及的涂层，可显著提高工件或刀具表面的硬度及耐磨性，对于硼化物硬质涂层的理论研究和实际应用具有重要意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 si 硬质 涂层 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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