[发明专利]晶棒治具组件与晶棒边抛机台在审
| 申请号： | 202210798709.5 | 申请日： | 2022-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN115703206A | 公开（公告）日： | 2023-02-17 |
| 发明（设计）人： | 林万迪;林塘棋 | 申请（专利权）人： | 环球晶圆股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B41/06;B24B41/04;B24B51/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 孟凡林;黄健 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶棒治具组件，包括端面夹持治具及晶棒定位治具。端面夹持治具包括相对的两夹持部。晶棒定位治具位于端面夹持治具的下方，且包括第一基座、调整座及两滚轮。调整座位于第一基座与端面夹持治具之间，且沿第一轴线可移动地设置于第一基座，以靠近或远离端面夹持治具。两滚轮可转动地设置在调整座上。本发明的晶棒治具组件可简单且方便的方式固定于晶棒。另提供一种晶棒边抛机台。 | ||
| 搜索关键词： | 晶棒治具 组件 晶棒边抛 机台 | ||
【主权项】：
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