[发明专利]一种混合缺陷模式晶圆图图像滤波方法在审
| 申请号： | 202210798956.5 | 申请日： | 2022-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN115170422A | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 陈寿宏;黄振涛;侯杏娜;易木兰;马峻;郭玲;汪韬 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | G06T5/00 | 分类号： | G06T5/00;G06V10/762;G06V10/74 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 541004 广西*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明提出一种可以自动选择最优参数的图像滤波方法，针对晶圆图领域的混合缺陷模式晶圆图进行滤波处理，包括对混合缺陷模式的晶圆图图像进行初步聚类，形成多个小的聚类簇或噪声点，去除噪声点与噪声簇；根据设定的核心簇数量，对非核心簇进行合并或去除处理；计算合并或去除之后聚类簇的SD值，使得SD最大的核心簇数量即为最优的聚类簇数量，对应的滤波结果为最优滤波结果。本发明有效的解决了混合缺陷模式晶圆图使用传统滤波算法需要手动设置先验参数，且聚类簇数量无法确定的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 混合 缺陷 模式 晶圆图 图像 滤波 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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