[发明专利]原位测量脉冲工作模式下电子器件温度分布的装置及方法在审
| 申请号： | 202210800738.0 | 申请日： | 2022-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN115290209A | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 牛刚;翟士杰;吴胜利;赵金燕;安瑞花;代立言 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01K11/00 | 分类号： | G01K11/00;G01J3/28;G01J3/44 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 李鹏威 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种原位测量脉冲工作模式下电子器件温度分布的装置及方法，所述原位测量脉冲工作模式下电子器件温度分布的装置包括：脉冲激光系统，所述脉冲激光系统用于产生脉冲探测激光；信号调制系统，所述信号调制系统用于产生调制驱动器的第一调制信号和调制电源模块的第二调制信号；拉曼光谱系统，所述拉曼光谱系统用于探测和处理拉曼散射信号；样品台，所述样品台用于放置待测器件。本发明可解决现有拉曼测温装置无法实现对于工作在高频状态下电子器件时间分辨的温度分布测量的技术难题，能够实现原位测量脉冲工作模式下电子器件的温度分布。 | ||
| 搜索关键词： | 原位 测量 脉冲 工作 模式 电子器件 温度 分布 装置 方法 | ||
【主权项】：
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