[发明专利]柔性超构表面红外热释电探测器

摘要

本发明属于红外探测技术领域，具体为一种柔性超构表面红外热释电探测器。本发明红外热释电探测器由亚波长金属微结构阵列‑介质‑金属组成，自上而下包括互联型金属微结构层、热电材料层、金属薄膜层和柔性衬底层。热电材料层的厚度和互联型金属微结构层的尺寸和形状可以调节红外探测器的探测频率。该红外探测器无需额外的吸收材料，无需制冷，热容量低，灵敏度高等突出性能优势；且具有结构简单、易于大面积制备、柔性可弯曲、工作频率可选等一系列优点，在红外探测领域有良好的应用前景。