[发明专利]一种与扫描电镜联用的原位疲劳测试系统

摘要

本发明公开一种与扫描电镜联用的原位疲劳测试系统，包括疲劳室、扫描电子显微镜和试样转移机构，疲劳室内设置有疲劳试验台；扫描电子显微镜的腔体通过输送管路与疲劳室连接，且输送管路上设置有能够使扫描电子显微镜的腔体与疲劳室分隔或连通的阻断器。扫描电子显微镜的腔体与疲劳室连通，通过试样转移机构将疲劳试验台经输送管路传输到扫描电子显微镜的腔体内对试验进行观测；观测完成后，试样转移机构将疲劳试验台传回到疲劳室中，并通过阻断器使扫描电子显微镜的腔体与疲劳室分隔(隔断)。由于试样测试空间和观测空间能够完全分隔，疲劳测试系统能不受扫描电子显微镜的使用限制长时间连续运行，而且能够对试样施加多种极端的耦合条件。