[发明专利]一种电子束蒸镀钯的方法在审
| 申请号： | 202210808563.8 | 申请日： | 2022-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN115094389A | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 姚林松;黄靖;陈丽祥;彭鹏 | 申请（专利权）人： | 威科赛乐微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/16 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 黄宗波 |
| 地址： | 404000 重庆市*** | 国省代码： | 重庆;50 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及半导体制备领域，公开了一种电子束蒸镀钯的方法，先使用预熔坩埚对钯金属进行手动熔源，然后将钯金属熔液倒入工艺坩埚内，再在蒸镀时采用功率逐渐增大的三种不同功率对钯金属进行分三次预熔；所述在蒸镀时采用功率逐渐增大的三种不同功率对钯金属进行三次预熔的方法具体为：将盛装钯金属熔液的工艺坩埚使用电子枪进行预熔，第一次为在30秒的时间内，将电子枪功率提升至5‑6KW，然后稳定3‑4min；第二次为将电子枪的功率提升至6.6‑7.5KW，稳定3‑4min；第三次为将电子枪的功率提升至7.0‑7.5KW，稳定7‑9min。本发明能够减少钯金属的飞溅浪费，且蒸镀出来的钯金属薄膜光滑、致密，形成优质膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子束 蒸镀钯 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于威科赛乐微电子股份有限公司，未经威科赛乐微电子股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210808563.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
